Remalytics verfügt über ein modernes, bildgebendes EDX-Analysesystem.

 Ein elektrischer Strom von etwa 2-3 Ampère    Durch den Elektronenbeschuss wird u.a. nieder-
 bringt einen V- förmig  gebogenen Wolfram-    energetische Röntgen- Strahlung erzeugt, deren
 draht von ca. 0,1mm Dicke auf etwa 2700°C.    Energie von Ordnungs-Zahl und Dichte der ange-
 An diese Anordnung wird  unter Vakuum eine    regten Elemente der Probe abhängt.
 hohe negative Gleichspannung  von ca. 20kV     
 angelegt.                                     In einem tiefgekühlten, hochreinen Siliziumchip
 Die aus dem Draht austretenden  Elektronen    erzeugt sie proportionale Spannungsimpulse, die
 beschleunigen in  Richtung Anode  auf etwa    zunächst verstärkt und mit Hilfe mathematischer
 2/3 der Lichtgeschwindigkeit c, werden mit    Standardverfahren in Element-Spektren umgesetzt
 Hilfe von Magnet-Spulen fokussiert und an-    werden (EDX-Analyse).
 schließend rasternd über die Probe geführt    Aus den erhaltenen Intensitäten lassen sich zu-
 (Analogie zur Bildröhre).                     sätzlich die quantitativen Anteile berechnen.
                                               Die Methode liefert Gewichts- und Atom-Prozente
 Das typische Graubild  der Aufnahmen ent-     aller Elemente ab Bor.
 steht durch den Nachweis von aus der Pro- 
 be herausgeschlagenen Sekundär-Elektronen     Vorteile:
 die von einem Detektor in Bildsignale um-     - schnell
 gesetzt werden (SE).                          - zerstörungsfrei
 Die niederenergetischen Elektronen bilden     - minimaler Einsatz von Chemikalien
 die Topographie der Probe ab.                 - zuverlässig
 In Abhängigkeit der Probendichte sind zu-  
 dem sog. rückgestreute Elektronen mittels     Durch Punkt-, Flächen- und Partikel-Messungen
 eines BE-Detektors erfassbar. Es gilt:        sind Zuordnungen in Stoffklassen und deren An-
 Je 'heller' die Probe, je höher die Dichte.   teil in der Gesamtprobe bestimmbar.
 ____________________________________________________________________________________________ 

  Die Abbildung zeigt den prinzipiellen Aufbau und die Funktionsweise der Analytik.